Ionenquellen

Mark III HO Retrofit

→Informationen zum MARK II Retrofit

BeamTec präsentiert ein modernes Nachrüstpaket für Veecos Stromversorgungsgerät für MARK II und MARK III HO end-Hall Ionenquellen mit Hohlkathodennautralisierung. Das Paket umfasst das neue modulare Stromversorgungssystem von Kaufman & Robinson, einschließlich  Discharge-, Bias, Keeper- und Gasregler mit integriertem Prozesssequenzer und einer integrierten 37 Pin MARK III-kompatiblen Schnittstelle.

Alle Controller verfügen über erweiterte primär geschaltete Leistungsmodule mit schnellem Arc-Handling für stabilen Betrieb über den gesamten Betriebsbereich. Die Controller können sowohl die traditionelle MARK II/MARK III-Ionenquellen als auch die nächste Generation der eH-Serie von KRI-Produkten betreiben.

Vier Betriebsmodi, darunter der Konstantstrom- und Konstantspannungsmodus mit entweder konstantem Gasfluss oder Gasfeedback, ermöglichen maximale Vielseitigkeit und schnelle Reaktionszeiten bei sich ändernden Plasmalasten. Im Modus AUTOSEQUENCE startet die Hohlkathode automatisch bevor die Anode angeschaltet wird.

Eigenschaften

  • MARK III Netzteil-kompatible Schnittstelle
  • Modulare Architektur
  • Schnittstellenintegration
  • Lernmodus für eine beschleunigte Startsequenz
  • Sofortige Arc-Erholung
  • Wiederholbare und stabile Steuerung der Ionenstrahlparameter über den gesamten Betriebsbereich
  • Zusätzliche RS232-Schnittstellen
  • Mikrocontroller-basierte Logik
  • CE-Konformität

Eigenschaften & Merkmale

  • Plug & Play-Installation mit Fernbedienungskompatibilität
  • Optimieren Sie das Upgrade für Prozessanwendungen und -kosten
  • Alle Leistungsmodule werden vollständig über A/D- und/oder RS232-Schnittstelle gesteuert
  • Schnelle Kontrolle der Betriebsparameter bei Inbetriebnahme und Lastwechsel
  • Sofortiger Arc- und Kurschluss-Erholung ohne Plasmaoszillation
  • Erhöht die Parameter der Ionenquelle, um die Prozessergebnisse zu optimieren
  • Umfassende Steuerung über moderne SPS
  • Hohe Flexibilität für kundenspezifische Funktionen und zukünftige Upgrades vor Ort
  • Erfüllt EMI- und Sicherheitsstandards