Ionenquellen

Mark II Retrofit

→Informationen zum MARK III HO Retrofit

BeamTec präsentiert ein modernes Nachrüstpaket für Veecos Stromversorgungsgerät für MARK II und MARK III HO end-Hall Ionenquellen. Das Paket umfasst das neue modulare Stromversorgungssystem von Kaufman & Robinson, einschließlich Filament-, Discharge- und Gasregler mit integriertem Prozesssequenzer und einer integrierten MARK II-kompatiblen Schnittstelle. Versionen mit Hohlkathoden werden auch unterstützt, indem Bias- und Keeper-Controller anstelle eines Filament-Controllers verwendet werden.

Alle Controller verfügen über erweiterte primär geschaltete Leistungsmodule mit schnellem Arc-Handling für stabilen Betrieb über den gesamten Betriebsbereich. Die Controller können sowohl die traditionelle MARK II-Ionenquelle als auch die nächste Generation der eH-Serie von KRI-Produkten betreiben.

Vier Betriebsmodi, darunter der Konstantstrom- und Konstantspannungsmodus mit entweder konstantem Gasfluss oder Gasfeedback, ermöglichen maximale Vielseitigkeit und schnelle Reaktionszeiten bei sich ändernden Plasmalasten. Stabile Prozessbedingungen werden innerhalb von 5 – 10 s nach dem RUN-Befehl erreicht.

Eigenschaften

  • MARK II Netzteil-kompatible Schnittstelle
  • Modulare Architektur
  • Schnittstellenintegration
  • Lernmodus für eine beschleunigte Startsequenz
  • Sofortige Ar-Erholung
  • Wiederholbare und stabile Steuerung der Ionenstrahlparameter über den gesamten Betriebsbereich
  • Zusätzliche RS232-Schnittstellen
  • Mikrocontroller-basierte Logik
  • CE-Konformität

Eigenschaften & Merkmale

  • Plug & Play-Installation mit Fernbedienungskompatibilität
  • Optimieren Sie das Upgrade für Prozessanwendungen und -kosten
  • Alle Leistungsmodule werden vollständig über A/D- und/oder RS232-Schnittstelle gesteuert
  • Schnelle Kontrolle der Betriebsparameter bei Inbetriebnahme und Lastwechsel
  • Sofortiger Arc- und Kurschluss-Erholung ohne Plasmaoszillation
  • Erhöht die Parameter der Ionenquelle, um die Prozessergebnisse zu optimieren
  • Umfassende Steuerung über moderne SPS
  • Hohe Flexibilität für kundenspezifische Funktionen und zukünftige Upgrades vor Ort
  • Erfüllt EMI- und Sicherheitsstandards

Spezifikationen

Auto Controller

Gasfluss1 - 20/50/100/100 sccm (4 Kanäle); 24V I/O für Zwangsabschaltung
Schnittstellen- 25 pin MARK II kompatible, optoisolierte Schnittstelle
- 37 pin A/D Schnittstelle für erweiterte Kontrollfinkionen
- RS485 Schnittstelle zu den KRi Modulen
- 4x 15 pin MFC Kanal (Brooks 5850E kompatibel)
- RS232/RS485 (für Hostcontrol und Datenlog)
- System Interlock
Maße19", 1U, 4kg

Filament Controller

max. Leistung900 W
Max. Outputprimär geschaltete 36 VAC Niederfrequenz; 25 A
Schnittstellen- 25 pin A/D
- RS232/RS485
Maße19", 1U, 5kg

Discharge Controller

Max. Leistung1 kW (DC3005)2 kW (DC30010)
Max. Output5 A / 300 V10 A / 300 V
Schnittstellen- 25 pin A/D
- RS232/RS485
- 25 pin A/D
- RS232/RS485
Maße19", 1U, 7 kg19", 1U, 7 kg