Plasmastromversorgungen

13,56 MHz Generatoren

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HF Generatoren

BDS-HF 200/300/750 AFP-Serie

Mit der AFP-Serie stellt BeamTec HF-Generatoren mit aktiver Frontpanel-Bedienung bis zu einer Leistungsklasse bis 750 W vor. Als Leistungsstufe kommt ein Class E Schaltkreis mit 85-90% Wirkungsgrad zum Einsatz. Neben einer analog/digital-Schnittstelle steht optional auch eine Ansteuerung über Profibus zur Verfügung.

BDS-HF 100/200/300/750 BB-Serie

Die BB-Serie der HF-Plasmaversorgungen wurde für den auschließlichen Betrieb über eine digital/analoge Schnittstelle konzipiert. Beginnend mit einer Leistung von nur 100W ist diese Geräteserie bestens den Betrieb an kleinen Magnetrons oder für kleinere Kammern zur Plasmavorbehandlung geeignet.

Typische Einsatzgebiete:

  • HF-Plasma- und Sputterprozesse in kleineren Vakuumanlagen
  • Oberflächenaktivierung

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Über BDISCOM Srl

BDISCOM Srl ist ein italienischer Hersteller für Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst Plasmaversorgungen für verschiedene Frequenzbereiche sowie kleinere Plasmaanlagen zur Oberflächenmodifikation.

 

BDS-AMN 750 Anpassnetzwerk

Die automatische Matchbox BDS-AMN750 passt die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an. Zwei motorisierte Leistungskondensatoren dienen zur schnellen Leistungsanpassung in einer L-Konfiguration oder für mittlere Impedanz mittels einer TEE- Konfiguration. Eine integrierte DC-BIAS Messung erlaubt die Regelung auf eine konstante Vorspannung über die BDS-AFP-Generatorserie.

Spezifikationen

 BDS HF AFP RF generator BDS HF BB RF generator

BDS-HF-xxx AFP

BDS-HF-xxx BB

Ausgangsleistung200 W, 300 W, 750 W100 W, 200 W, 300 W, 750 W
Frequenz13,56 MHz13,56 MHz
BedienungTouch Screen Display mit Encoderexterne Schnittstelle
AusgängeN-BuchseN-Buchse
Schnittstellendigital/analog IO, RS232,
Profibus optional
digital/analog IO
Hauptversorgung1x 230 VAC1x 230 VAC
Abmessungen1/2 19" x 3 HE, 410 mm tiefBDS.HF200.BB: 270 x 70 x 155 mm
BDS.HF750.BB: 133 x 269 x 410 mm