Plasmastromversorgungen
13,56 MHz Generatoren
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HF Generatoren
BDS-HF 200/300/750 AFP-Serie
Mit der AFP-Serie stellt BeamTec HF-Generatoren mit aktiver Frontpanel-Bedienung bis zu einer Leistungsklasse bis 750 W vor. Als Leistungsstufe kommt ein Class E Schaltkreis mit 85-90% Wirkungsgrad zum Einsatz. Neben einer analog/digital-Schnittstelle steht optional auch eine Ansteuerung über Profibus zur Verfügung.
Über BDISCOM Srl
BDISCOM Srl ist ein italienischer Hersteller für Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst Plasmaversorgungen für verschiedene Frequenzbereiche sowie kleinere Plasmaanlagen zur Oberflächenmodifikation.
BDS-AMN 750 Anpassnetzwerk
Die automatische Matchbox BDS-AMN750 passt die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an. Zwei motorisierte Leistungskondensatoren dienen zur schnellen Leistungsanpassung in einer L-Konfiguration oder für mittlere Impedanz mittels einer TEE- Konfiguration. Eine integrierte DC-BIAS Messung erlaubt die Regelung auf eine konstante Vorspannung über die BDS-AFP-Generatorserie.
Spezifikationen
 | |
|---|---|
BDS-HF-xxx AFP | |
| Ausgangsleistung | 200 W, 300 W, 750 W |
| Frequenz | 13,56 MHz |
| Bedienung | Touch Screen Display mit Encoder |
| Ausgänge | N-Buchse |
| Schnittstellen | digital/analog IO, RS232, Profibus optional |
| Hauptversorgung | 1x 230 VAC |
| Abmessungen | 1/2 19" x 3 HE, 410 mm tief |