Plasmastromversorgungen

13,56 MHz Generatoren

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HF Generatoren

BDS-HF 200/300/750 AFP-Serie

Mit der AFP-Serie stellt BeamTec HF-Generatoren mit aktiver Frontpanel-Bedienung bis zu einer Leistungsklasse bis 750 W vor. Als Leistungsstufe kommt ein Class E Schaltkreis mit 85-90% Wirkungsgrad zum Einsatz. Neben einer analog/digital-Schnittstelle steht optional auch eine Ansteuerung über Profibus zur Verfügung.

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Über BDISCOM Srl

BDISCOM Srl ist ein italienischer Hersteller für Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst Plasmaversorgungen für verschiedene Frequenzbereiche sowie kleinere Plasmaanlagen zur Oberflächenmodifikation.

 

BDS-AMN 750 Anpassnetzwerk

Die automatische Matchbox BDS-AMN750 passt die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an. Zwei motorisierte Leistungskondensatoren dienen zur schnellen Leistungsanpassung in einer L-Konfiguration oder für mittlere Impedanz mittels einer TEE- Konfiguration. Eine integrierte DC-BIAS Messung erlaubt die Regelung auf eine konstante Vorspannung über die BDS-AFP-Generatorserie.

Spezifikationen

 BDS HF AFP RF generator

BDS-HF-xxx AFP

Ausgangsleistung200 W, 300 W, 750 W
Frequenz13,56 MHz
BedienungTouch Screen Display mit Encoder
AusgängeN-Buchse
Schnittstellendigital/analog IO, RS232,
Profibus optional
Hauptversorgung1x 230 VAC
Abmessungen1/2 19" x 3 HE, 410 mm tief