Elektronenstrahlverdampfer

Eintiegelverdampfer

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BeamTec bietet eine vollständige Auswahl an Elektronenstrahlverdampfern für Dünnschichtanwendungen an. Die Produktspanne umfasst Verdampfer sowohl für produktionsorientierte Metallisationsprozesse als auch für optische Abscheidungsanwendungen.

Eigenschaften & Merkmale

  • Effizienter Wasserfluss
  • Hermetisch dichtes Magnetgehäuse
  • Geschlossenes Ablenksystem
  • Industriekompatible Abmessungen / Schnittstellen
  • Hohe Betreibsleistungen
  • Einfache Installation mit herausragender Vakuumverträglichkeit

EB1-Nano

Dieser Verdampfer ist für Abscheideanwendungen auf kleinstem Raum konzipiert, ohne auf eine dynamische Strahlablenkung zu verzichten. Eine optionale Flanschmontagebaugruppe kann über einen ISO63K-Flansch von unten eingesetzt werden.

Max. Betriebsleistung 4 kW
Max. Emissionsstrom 500 mA @8 kV
Hochspannungsbereich 6 – 8 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 2 A
Montage ISO63K oder ISO63CF

Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³

EB10-60

Dieses Modell ist für produktionsorientierte Optik- oder Metallisierungsbeschichtungen konzipiert. Mit einer maximalen Tiegelkapazität von 100 cm³ und einer maximalen Betriebsleistung von 10 kW unterstützt die Quelle lange Prozessabläufe bei hohen Verdampfungsraten.

Max. Betriebsleistung 10 kW
Max. Emissionsstrom 1000 mA @10 kV
Hochspannungsbereich 6 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 3 A

Typ. Tiegelkonfigurationen
1 x 30 cm³
1 x 60 cm³
1x 100 cm³

EB-1

Dieses Gerät ist für Abscheideanwendungen in Vakuumsystemen mittlerer Größe konzipiert. Die Quelle verfügt über austauschbare Tiegel, 3/8″ Wasserleitungen für die Kühlung und austauschbare Spulen. UHV-kompatible Versionen sind für eine ultrareine Umgebung verfügbar.

Max. Betriebsleistung 6 kW
Max. Emissionsstrom 600 mA @8 kV
Hochspannungsbereich 6 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A

Typ. Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³
1 x 7 cm³
1 x 15 cm³

EB-5

Dieses Modell ist für produktionsorientierte Metallisierungsbeschichtungen konzipiert. Mit einer maximalen Tiegelkapazität von 100 cm³ und einer maximalen Betriebsleistung von 15 kW unterstützt die Quelle lange Prozessabläufe bei hohen Verdampfungsraten. UHV-kompatible Versionen sind für ultrareine Umgebungen verfügbar.

Max. Betriebsleistung 15 kW
Max. Emissionsstrom 1500 mA @10 kV
Hochspannungsbereich 5 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A

Typ Tiegelkonfiguration
1 x 25 cm³
1 x 40 cm³
1 x 100 cm³

 

 EB1-NanoEB10-60EB-1EB-5
Max. Betriebsleistung4 kW10 kW6 kW15 kW
Hochspannungsbereich6 - 8 kV6 - 10 kV6- 10 kV6 - 10 kV
Max. Emissionsstrom500 mA @ 8 kV1000 mA @ 10 kV600 mA @ 10 kV1500 mA @ 10 kV
Max. Filamantleistung500 W500 W600 W600 W
Spulenablenkstrom (x/y)± 2 A± 3 A± 1 A± 1 A
Tiegelvolumen4 x 4 cm³1 x 30 / 60 /100 cm³1 x 4 / 7 / 15 cm³1 x 25/40/100 cm³
Abmessungen Vakuum95 mm H x dia 61 mm115 mm H x 112 mm W x 226 mm L81 mm H x 81 mm W x 127 mm L74 mm H x 122 mm W x 276 mm L
Gewicht1,5 kg12 kg3 kg9 kg
Magnetstromdurchführung
Magnetstromdurchführung
SB-HVFT2
Hochspannungsdurchführung

 

Aktuelle Datenblätter erhalten Sie auf Anfrage bei info(at)beamtec.de.