Plasmastromversorgungen

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DC- / gepulste DC-Versorgung

MF-Generatoren 40 kHz

 

 

HF-Stromversorgungen

Arc-/Glimm-Stromversorgungen

DC-/HF-Umschalter

Bei der BeamTec GmbH erhalten Sie Stromversorgungen für Ihren Plasmaprozess.
Im Programm haben wir DC und gepulste DC Stromversorgungen, die bis zu 1500 W für 2 angeschlossene Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden liefern können.
Sie sind auch ideal für Anwendungen, die präzise Beschichtungen bei geringen Beschichtungsraten erfordern, da sie auch bei niedrigen Leistungen (<2 W) stabil betrieben werden können.

Unsere 40 kHz MF Generatoren des Herstellers BDISCOM wurden für die Plasmaanregung in Sputter-, PECVD- bzw. Plasmareinigungsprozessen entwickelt. Mit einem speziellen Transformator ist auch den Einsatz für atmosphärische Plasmen möglich.

Die 13,56 MHz HF Generatoren liefern eine Leistung von 100 W bis 750 W, dadurch sind sie auch für den Betrieb mit kleinen Magnetrons oder in kleineren Kammern geeignet.
Matchboxes passen die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an.

Die BDS-ARC Geräte sind Stromversorgungen, die für Lichtbogenverdampfer (ARC-) Verdampfer mit bis zu 250 A Stromaufnahme eingesetzt werden.
Die BDS-GLOW Geräte sind kompakte Stromversorgungen für Glimmentladungsprozesse.

Ebenfalls bei uns im Programm sind DC-/HF-Umschalter, HF Sperrfilter und Tiefpassfilter des Herstellers Manitou Systems. Sie werden verwendet, um den Ausgang von HF-Stromgeneratoren, Gleichstrom-Sputter-Stromversorgungen oder Impedanzanpassungsnetzwerken umzuschalten und zu verbinden.

 DC-/gepulste DC-VersorgungMF-Generatoren 40 kHzHF-StromversorgungenArc-StromversorgungenGlimm-Stromversorgungen
MPS1500PMF generatorBDS HF AFP RF generator MF generatorGlimmstrom-Versorgung
Max. Ausgangsleistung1500 W15 kW750 W6,25 kW6,25 kW
Max. Ausgangsstrom2 A35 An. a.250 A1,6 A
Max. Ausgangsspannung1200 V800 Vn. a.25 V4000 V
BetriebsmodusDC und PulseDCMF 40 kHz mit PulsoptionHF 13,56 MHzDCDC
SchnittstellenRS232 oder RS485,
Bluetooth, EthernetIP, Analog I/O
digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle);
RS232;
Profibus optional
digital/analog IO, RS232,
Profibus optional
digital/analog;
RS232;
Profibus optional
digital/analog;
RS232;
Profibus optional
Abmessungen19", 2 HE19", 4 HE1/2 19", 3 HE
19" , 4 HE19", 4 HE