Verbrauchsmaterialien

Messquarze

BeamTec liefert Quarze für die gebräuchlichsten Schichtdicken-Messsysteme wie die 6 MHz, 14mm „Doppelanker“-Quarze (für Inficon, Sycon, Sigma Instruments, Maxtek ,…), 5 MHz, 14mm „Einfachanker“ Quarze (für Balzers), 5 MHz, 12,5mm Quarze (für Ulvac / Sloan instruments) und den neuen 8mm Quarz in 5 oder 6 MHz für Colnatecs 24-Quarzmesskopf Infinity™. Als Elektrodenkontaktmaterial kommt Gold / Silber mit einer Chrom-Haftschicht oder Aluminium („Alloy“) zum Einsatz. Die Quarze sind in 3 Qualitätsstufen / Kategorien verfügbar (Standard AT-Cut / Premium AT-Cut / RC™-Cut). Die patentierte Quarzserie RC™ reagiert nicht auf thermische Abstrahlung wie typische AT-Cut Quarze, wodurch erst die höchste Genauigkeit für die Quarzmessung erzielt werden kann!

colnatec

Über Colnatec LLC

COLNATEC LLC ist ein US-amerikanischer Hersteller, der sich auf Quarze und deren Messtechnik für die Vakuum-Dünnschichttechnik spezialisiert hat. Der technische Direktor von COLNATEC, Scott Grimshaw, der u.a. auch die Alloy-Quarze bei Inficon entwickelt hat, führt dabei die Entwicklung in der Quarz-Messtechnik in die nächste Generation.

 

Temperatur-unempfindliche RC Quarze

Der patentierte Aufbau der RC™ Quarze ist gegenüber Frequenzverschiebungen aufgrund von thermischer Abstrahlung und Filmstress unempfindlich. Dies wurde durch die eine veränderte Schichtstruktur des Rohquarzes mittels fortschrittlichen Herstellungsbedingungen erreicht.

Bei ultra-dünnen Schichten im 10-100 Angstrom Bereich kann schon die Kombination aus Frequenzverschiebungen, die von Hitze und Stress im Schichtwachstum herrühren, zu einer Abweichung der Schichtdicke von mehr als 100% führen. Das Ergebnis ist dann ein unbeherrschbarer Prozess. Der neu entwickelte RC™ Quarz schwächt diese Effekte nahezu vollständig ab.

Der RC™ Kristall erzeugt beim Öffnen und Schließen der Verdampferblende keine Rateschwankungen. Dies wurde auch bei Tests in unserem Haus eindrucksvoll in einem Vergleich mit einem herkömmlichen AT-Cut Quarz bewiesen. 

Typischerweise führt das Öffnen der Blende zu einer Frequenzverschiebung um bis zu 100Hz, was bei einer Aluminiumschicht einer Schichtdicke von ca. 50 Angstrom entspricht. Zudem wird das Frequenzrauschen z.B. aufgrund des Ionenbombardements bei Sputterprozessen deutlich reduziert, da der Kristall gegenüber diesem Stress unempfindlich ist. Dies sind handfeste Vorteile in der Messtechnik von Nanometer Schichtdicken, wie sie u.a. in Prozessen in der Präzisionsoptik, OLED oder high-end Elektronikbauteilen vorkommen.

RC™ Quarze können anstatt der herkömmlichen AT-Cut Quarze in typischen Quarzmessköpfen unter Beibehalten des vorhandenen Messequipments eingesetzt werden.

Standard AT-CUTPremium AT-CUTRC™-Quarz
Temperaturunempfindlich bis über 200° Cneinneinja
KristallschliffAT Cut +/-2’AT Cut +/-0,5’RC Cut +/-1’
ElektrodenmaterialGold, Silber oder Aluminium („alloy“)
Frequenz6 MHz / 5 MHz
Durchmesser14.0 mm / 12.5 mm / 8.6 mm
KristallformPlano-convex
 Kontaktmaterial
Ansicht für Doppelanker Quarz
Gold QuarzSilber QuarzAluminium Quarz
GoldSilberAluminium
14 mm AT Standard, 6 MhzCNT-06IGCNT-06ISCNT-06IA
14 mm RC, 6 MhzCNT-06RCIGCNT-06RCISCNT-06RCIA
14 mm AT Standard, 5 Mhz, EinfachankerCNT-05BGCNT-05BSCNT-05BA
14 mm RC, 5 Mhz, EinfachankerCNT-05RCBGCNT-05RCBSCNT-05RCBA
12,5 mm AT Standard, 6 MhzCNT-06ISG
12,5 mm RC, 6 MhzCNT-06RCSG
8,6 mm RC, 6 MhzCNT-86RCCGCNT-86RCCA
12,5 mm RC, 6 MhzCNT-06RCSGCNT-06RCSSCNT-06RCSA
14 mm AT Standard, 6 Mhz,
optimiert für QSK-Messkopf
CNT-06IQGCNT-06IQSCNT-06IQA
14 mm RC, 6 Mhz,
optimiert für QSK-Messkopf
CNT-06RCIQGCNT-06RCIQA