Elektronenstrahlverdampfer

Mehrtiegelverdampfer

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Die neue SmartBeam Verdampferserie ist sowohl für optische Beschichtungsprozesse als auch für die Metallisierung bei hohen Beschichtungsraten geeignet. Ein effizientes Kühlsystem für den Tiegel und die Ablenkeinheit garantiert den zuverlässigen Betrieb bei anspruchsvollen Produktionsprozessen.

Alle Mehrtiegelverdampfer erzeugen einen kleinen Strahldurchmesser von 3 mm bei minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche.
Der Tiegelantrieb erfolgt mittels eines DC-Motors mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung.
Bei der EB M-Serie befinden sich Motor und Tiegelantrieb auf Atmosphärenseite und sind axial an die Tiegelwelle geflanscht.
Bei der EB S-Serie sind Motor und Tiegelantrieb im Vakuum gekapselt. Dies ermöglicht eine freie Positionierung des Verdampfers innerhalb der Beschichtungskammer.

Eigenschaften & Merkmale

  • Magnetsystem mit geringer Induktivität und aktiver Kühlung
  • kleiner Strahldurchmesser unabhängig von Position im Tiegel
  • atmosphärenseitiger DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung
  • Hochleistungs-Filamentblock-System
  • Unterstützung hoher Sweepfrequenzen
  • exzellente Kontrolle des Strahls für opt. Materialien
  • zuverlässige Tiegelpositionierung mit Blockierschutz
  • einfacher Filamentwechsel und lange Filamentlebensdauer

 

Optionen

  • Verdampfereinheit inkl. Motoreinheit frei im Vakuum positionierbar (EB S-Serie)
  • Magnetische Tiegelabdeckung für reduzierten Sekundärelektronenbeschuss auf das Substrat
  • kundenspezifische Tiegelgeometrien
  • Ferrofluid-Drehdurchführungen für Tiegelantrieb (nur bei EB M-Serie); Basisdruck bis 1E-9 mbar

EB M-8 II mit atmosphärenseitigem Motor und Tiegelantrieb

EB S-8 II mit vakuumseitigem Motor und Tiegelantrieb

 EB M-4x4EB M-6 II
EB S-6 II
EB M-8 II
EB S-8 II
EB M-10 II
EB S-10 II
EBM-4x4EBM-6IIEBM-8IIEBM-10II
Max. Betriebsleistung4 kW6 kW8 kW10 kW
Hochspannungsbereich4 - 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y)± 3 A
Strahldurchmesser3 mm, mit minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche
TiegelantriebDC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung
EBM-x: Motor und Positionierung an Atmosphäre axial an Tiegelwelle geflanscht
EBS-x: Motor und Positionierung im Vakuum gekapselt; Verdampfer frei positionierbar
Typ. Tiegelkonfiguration4 x 4 cm³4 x 8 cm³
6 x 6 cm³
8 x 4 cm³
4 x 40 cm³
6 x 20 cm³
8 x 15 cm³
4 x 60 cm³
6 x 40 cm³
8 x 20 cm³
Abmessungen Vakuum
(H x B x L in mm) :
120 x 87 x 206130 x 112 x 250
164 x 112 x 282
130 x 150 x 304
164 x 150 x 304
130 x 190 x 346
164 x 190 x 346
Magnetstromdurchführung
Magnetstromdurchführung
SB-HVFT2
Hochspannungsdurchführung
LiftOff-Filamenthalter
LiftOff Filamenthalter
Tiegelantrieb
Tiegelantrieb

 

Aktuelle Datenblätter erhalten Sie auf Anfrage bei info(at)beamtec.de.