Plasmastromversorgungen

Die MPS500 und MPS1500P sind vielseitige Dual-Source-Stromversorgungen für Beschichtungs- und Reinigungsanwendungen in Forschung und Entwicklung. Sie können bis zu zwei Quellen steuern, die eine beliebige Kombination von kompakten Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden sein können.
Das 1500 W-Modell MPS1500P bietet einen DC- oder gepulsten DC-Modus mit intuitiver Pulsbreitensteuerung auf dem grafischen LCD-Bildschirm.
Das 500 W-Modell MPS500 verfügt außerdem über einen Eingang zur Überwachung eines aktiven Vakuummeters mit Interlock-Funktion.

Stabilität und Kontrolle

Dank der extrem stabilen Regelung können die Quellen auch bei niedrigen Leistungspegeln (<2 W) betrieben werden. Dies macht diese Geräte einzigartig in ihrer Klasse und ideal für Anwendungen mit präzisen Beschichtungen bei geringe Beschichtungsraten.

Eigenschaften & Merkmale

• DC und/oder PulsDC Betriebsmodus
• Inegrierter Switch zum Anschluss von 2 Magnetrons
• Schnelle Arc-Erkennung und -Unterdrückung
• Wählbar zwischen Spannungs-, Strom-, oder Leistungs-geregeltem Modus
• Stabiler Betrieb bis 2 Watt
• Weiter Impedanzbereich
• Ideal für 1 bis 4 Zoll Quellen
• Benutzerfreundliche Bedienung mit LCD Display, Tastatur und Dreh-Encoder
• Messkanal für aktive Vakuummeter