Plasmastromversorgungen
DC und gepulste DC-Netzteile
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Die MPS500 und MPS1500P sind vielseitige Dual-Source-Stromversorgungen für Beschichtungs- und Reinigungsanwendungen in Forschung und Entwicklung. Sie können bis zu zwei Quellen steuern, die eine beliebige Kombination von kompakten Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden sein können.
Das 1500 W-Modell MPS1500P bietet einen DC- oder gepulsten DC-Modus mit intuitiver Pulsbreitensteuerung auf dem grafischen LCD-Bildschirm.
Das 500 W-Modell MPS500 verfügt außerdem über einen Eingang zur Überwachung eines aktiven Vakuummeters mit Interlock-Funktion.
Stabilität und Kontrolle
Dank der extrem stabilen Regelung können die Quellen auch bei niedrigen Leistungspegeln (<2 W) betrieben werden. Dies macht diese Geräte einzigartig in ihrer Klasse und ideal für Anwendungen mit präzisen Beschichtungen bei geringe Beschichtungsraten.
Eigenschaften & Merkmale
- DC und/oder PulsDC Betriebsmodus
- Integrierter Switch zum Anschluss von 2 Magnetrons
- Schnelle Arc-Erkennung und -Unterdrückung
- Wählbar zwischen Spannungs-, Strom-, oder Leistungs-geregeltem Modus
- Stabiler Betrieb bis 2 Watt
- Weiter Impedanzbereich
- Ideal für 1 bis 4 Zoll Quellen
- Benutzerfreundliche Bedienung mit LCD Display, Tastatur und Dreh-Encoder
- Messkanal für aktive Vakuummeter (MPS500)
 |  | |
|---|---|---|
MPS500 | MPS1500P | |
| Max. Ausgangsleistung | 500 W | 1500 W (DC) 1050 W (unipolar gepulstes DC) |
| Max. Ausgangsspannung | 1000 V (1200V Zündspannung) | 1000 V (1200V Zündspannung) |
| Ausgangsstrom | 1 A max | 3 A max |
| Betriebsmodus | DC | DC und PulsedDC (Duty cycle: 3..70 %) |
| Ausgänge | 2; N-Typ Stecker | 2; N-Typ Stecker |
| Betriebsfrequenz | - | 10...120 kHz bei PulsedDC optional: 10 .. 300 kHz |
| Hauptversorgung | 230 VAC/3,15 A | 230 VAC/max. 8A |
| Display | Alphanumerisch LCD 2x16 | Graphischer LCD 240x64 |
| Messkanal für aktive Vakuummeter | Ja | Nein |
| Schnittstellen | RS232 oder RS485 (ModBus RTU-Protokoll) , EthernetIP (ModBus TCP Protokoll) , Analog I/O | RS232 oder RS485 (ModBus RTU-Protokoll) , EthernetIP (ModBus TCP Protokoll) , Analog I/O |
| Arc Management | Erweitert mit Kontrolle | Erweitert |
| Targetüberwachung | - | Ja |
Broschüre „MPS500 & MPS1500P“ – Englisch (250 KB)