Plasmastromversorgungen

Die MPS500 und MPS1500P sind vielseitige Dual-Source-Stromversorgungen für Beschichtungs- und Reinigungsanwendungen in Forschung und Entwicklung. Sie können bis zu zwei Quellen steuern, die eine beliebige Kombination von kompakten Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden sein können.
Das 1500 W-Modell MPS1500P bietet einen DC- oder gepulsten DC-Modus mit intuitiver Pulsbreitensteuerung auf dem grafischen LCD-Bildschirm.
Das 500 W-Modell MPS500 verfügt außerdem über einen Eingang zur Überwachung eines aktiven Vakuummeters mit Interlock-Funktion.

Stabilität und Kontrolle

Dank der extrem stabilen Regelung können die Quellen auch bei niedrigen Leistungspegeln (<2 W) betrieben werden. Dies macht diese Geräte einzigartig in ihrer Klasse und ideal für Anwendungen mit präzisen Beschichtungen bei geringe Beschichtungsraten.