Plasmastromversorgungen

DC und gepulste DC-Netzteile

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Die MPS500 und MPS1500P sind vielseitige Dual-Source-Stromversorgungen für Beschichtungs- und Reinigungsanwendungen in Forschung und Entwicklung. Sie können bis zu zwei Quellen steuern, die eine beliebige Kombination von kompakten Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden sein können.
Das 1500 W-Modell MPS1500P bietet einen DC- oder gepulsten DC-Modus mit intuitiver Pulsbreitensteuerung auf dem grafischen LCD-Bildschirm.
Das 500 W-Modell MPS500 verfügt außerdem über einen Eingang zur Überwachung eines aktiven Vakuummeters mit Interlock-Funktion.

Stabilität und Kontrolle

Dank der extrem stabilen Regelung können die Quellen auch bei niedrigen Leistungspegeln (<2 W) betrieben werden. Dies macht diese Geräte einzigartig in ihrer Klasse und ideal für Anwendungen mit präzisen Beschichtungen bei geringe Beschichtungsraten.

Eigenschaften & Merkmale

  • DC und/oder PulsDC Betriebsmodus
  • Inegrierter Switch zum Anschluss von 2 Magnetrons
  • Schnelle Arc-Erkennung und -Unterdrückung
  • Wählbar zwischen Spannungs-, Strom-, oder Leistungs-geregeltem Modus
  • Stabiler Betrieb bis 2 Watt
  • Weiter Impedanzbereich
  • Ideal für 1 bis 4 Zoll Quellen
  • Benutzerfreundliche Bedienung mit LCD Display, Tastatur und Dreh-Encoder
  • Messkanal für aktive Vakuummeter
 MPS500MPS1500P

MPS500

MPS1500P

Max. Ausgangsleistung500 W1500W (DC)
900W (gepulstes DC)
Max. Ausgangsspannung1000 V (1200V Zündspannung)1000 V (1200V Zündspannung)
Ausgangsstrom1 A max3 A max
BetriebsmodusDCDC und PulsedDC (Duty cycle: 3..65 %)
Ausgänge2; N-Typ Stecker2; N-Typ Stecker
Betriebsfrequenz-10...120 kHz bei PulsedDC
optional: 10 .. 300 kHz
Hauptversorgung230 VAC/3,15 A230 VAC/max. 8A
DisplayAlphanumerisch LCD 2x16Graphischer LCD 240x64
Messkanal für aktive VakuummeterJaNein
SchnittstellenRS232 oder RS485 (ModBus RTU-Protokoll) , EthernetIP (ModBus TCP Protokoll) , Analog I/ORS232 oder RS485 (ModBus RTU-Protokoll) , EthernetIP (ModBus TCP Protokoll) , Analog I/O
Arc ManagementErweitert mit KontrolleErweitert
Targetüberwachung-Ja

MPS1500P-back