Dünnschichtmesstechnik

Dünnschicht Monitor EonLT-DM

Startseite » Dünnschichtmesstechnik » Dünnschicht Monitor EonLT-DM

Der EonLT-DM ist ein Temperatur und Schichtdicken Monitor. Durch die Temperaturüberwachung übertrifft er herkömmliche Controller, die gegenüber thermischen Änderungen des Kristalls blind sind. Die Kombination aus Frequenz- und Temperaturmessung ermöglicht eine beispiellose Genauigkeit bei der Echtzeit Raten- und Schichtdickensteuerung.

Sie können den Dünnschicht Monitor EonLT-DM direkt in unserem Onlineshop kaufen.

Eigenschaften & Merkmale

2 Temperatursensoren
2 Quarz Sensoren
Messauflösung bis zu 0,0015 Hz
RS-232 Schnittstelle
Echtzeit Temperatur-, Raten- und Frequenz Aufzeichnung
Relais für die Prozess-Automatisierung (Shutter-Steuerung)
Auf bis zu 255 Geräte in einem Netzwerk erweiterbar
Alle benötigten Kabel, Stromversorgung und Windows Software (Labview Runtime) beiliegend

Der EonLT-DM steht im Vergleich zu doppelt so teuren Instrumenten und bietet dabei zwei Quarzsensor-Kanäle, Kontrolle von 2 Quellen und Beschichtungsprozessen gleichzeitig und 2 Temperatur Sensoren.

Sowohl Standard Quarze werden unterstützt als auch 6 MHz AT und RC Quarze.

Messfrequenz	4 - 10 MHz
Messauflösung	bis zu 0,0015 Hz
Sensoreingänge	2 x BNC weiblich (1 - 10 MHz, 1 - 200 Ω) 2 x Miniatur-Thermoelement Typ K (± 0,25 °C)
Schnittstellen	RS-232 USB über Adapter Kabel
Ausgänge	2 Relaisausgänge per DB9
Versorgungsspannung	24 V DC
Maße	114,3 mm x 63,5 mm x 25,4 mm
Gewicht	~0,2 kg

Externer Oszillator

BNC-Kabel

Test-Quarz

Broschüre „EonLT-DM“ – Englisch (469 KB)