Dünnschichtmesstechnik

Dünnschicht Monitor EonLT-DM

Startseite » Dünnschichtmesstechnik  » Dünnschicht Monitor EonLT-DM

Der EonLT-DM ist ein Temperatur und Schichtdicken Monitor. Durch die Temperaturüberwachung übertrifft er herkömmliche Controller, die gegenüber thermischen Änderungen des Kristalls blind sind. Die Kombination aus Frequenz- und Temperaturmessung ermöglicht eine beispiellose Genauigkeit bei der Echtzeit Raten- und Schichtdickensteuerung.

Sie können den Dünnschicht Monitor EonLT-DM direkt in unserem Onlineshop kaufen.

Eigenschaften & Merkmale

  • 2 Temperatursensoren
  • 2 Quarz Sensoren
  • Messauflösung bis zu 0,0015 Hz
  • RS-232 Schnittstelle
  • Echtzeit Temperatur-, Raten- und Frequenz Aufzeichnung
  • Relais für die Prozess-Automatisierung (Shutter-Steuerung)
  • Auf bis zu 255 Geräte in einem Netzwerk erweiterbar
  • Alle benötigten Kabel, Stromversorgung und Windows Software (Labview Runtime) beiliegend

Der EonLT-DM steht im Vergleich zu doppelt so teuren Instrumenten und bietet dabei zwei Quarzsensor-Kanäle, Kontrolle von 2 Quellen und Beschichtungsprozessen gleichzeitig und 2 Temperatur Sensoren.

Sowohl Standard Quarze werden unterstützt als auch 6 MHz AT und RC Quarze.

Messfrequenz4 - 10 MHz
Messauflösungbis zu 0,0015 Hz
Sensoreingänge2 x BNC weiblich (1 - 10 MHz, 1 - 200 Ω)
2 x Miniatur-Thermoelement Typ K (± 0,25 °C)
SchnittstellenRS-232
USB über Adapter Kabel
Ausgänge2 Relaisausgänge per DB9
Versorgungsspannung24 V DC
Maße114,3 mm x 63,5 mm x 25,4 mm
Gewicht~0,2 kg

 

BT-QM-EO

Externer Oszillator

 

Zubehör-Kabel

BNC-Kabel

Zubehör-Testquarz

Test-Quarz