Plasmastromversorgungen

DC-/HF-Umschalter

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DC-/ HF-Umschalter

Matrixx-Switch-Module werden zum Schalten des Ausgangs von HF-Stromgeneratoren, DC-Sputter-Stromversorgungen oder Impedanzanpassungsnetzwerken verwendet. Verschiedene Modelle sind nur für das Schalten von Gleichstrom ausgelegt, für andere Geräte ist sowohl die HF- als auch die Gleichstromversorgung verfügbar. Alle Modelle werden mit einer externen 24 VDC-Spannung versorgt. Dies bietet einen kostengünstigen Ansatz in den meisten F&E-Umgebungen. Standardmodelle sind mit 2, 3 und 4 Ausgängen erhältlich und verwenden branchenübliche HF-Steckverbinder (Typen 7/16, N, HN, UHF und BNC). Sonderausführungen mit Steckverbindern und Steckdosen vom Typ Multi-Contact sind auf Anfrage erhältlich.

Grundmodelle ermöglichen das Umschalten eines einzelnen HF- oder DC-Eingangs zwischen mehreren Ausgängen. Nur DC-Modelle verwenden hochwertige Open-Frame-Relais, während HF / DC-Modelle Vakuumrelais verwenden. (Bitte beachten Sie, dass einige Low-Power-Anwendungen Open-Frame-Relais verwenden können – wenden Sie sich für weitere Informationen an uns.)

Kombinierte Modelle ermöglichen den Anschluss von HF- und DC-Stromversorgungssystemen an das Schaltmodul und das Umschalten zwischen mehreren Ausgängen. Die HF- und DC Stromversorgungssysteme können gleichzeitig an zwei der mehreren Ausgänge betrieben werden. Der DC-Eingang verwendet ein HF-Blockierfilter, um zu verhindern, dass durchgeleitete HF den Betrieb des Gleichstromnetzes stört.

Alle Switch-Module können auch direkt an eine SPS oder Computer-I/O eines Benutzers angeschlossen und mit Strom versorgt werden. Ein Stecker des Typs DB-15 ist an der Seitenfläche des Gehäuses montiert und dient zum Anschließen der Steuerspannungen.

RF Blocking Filter

BeamTec bietet auch HF-Blocking-Filter an, die den Anschluss von HF- und DC-Strom an eine Magnetron Sputter Kathode ermöglichen. Dies ist wünschenswert, um bestimmte abgeschiedene Dünnfilmeigenschaften zu erreichen. Bei der Filtertopologie handelt es sich typischerweise um ein Mehrfachelement “L”, das eine hohe Grundfrequenzdämpfung ermöglicht. Der Ausgang dieses Filters ist parallel zu dem Ausgang eines HF-Impedanzanpassungsnetzwerks mit der Magnetronkathode verbunden. Der Eingang des Filters ist an die DC-Sputter-Stromversorgung angeschlossen. Es ist zu beachten, dass die Gleichstrom-Energie durch den Serienkondensator des Netzwerks daran gehindert wird, in das entsprechende Netzwerk zu gelangen.

Anwendungsspezifische Versionen sind auf Anfrage immer verfügbar. Bitte kontaktieren Sie die Verkaufsabteilung, um Ihre Bewerbung zu besprechen.

Low Pass Filter

Eliminator-HF-Tiefpassmodelle werden normalerweise in die 50-Ohm-Koaxialübertragungsleitung am Eingang des Impedanzanpassungsnetzwerks installiert. Sie dämpfen die Oberwellenenergie, ohne die Grundfrequenz zu beeinflussen oder eine signifikante Phasenverschiebung einzuführen.

Oberschwingungen werden in der Plasmaentladung erzeugt und werden normalerweise durch die inhärente Filterung des Anpassungsnetzwerks daran gehindert, zum HF-Generator zurückzukehren. Die Impedanz einiger Plasmen erfordert jedoch Anpassungsschaltungen, die diese Oberwellen möglicherweise nicht vollständig filtern. Die Symptome können einen instabilen oder nicht wiederholbaren (automatischen) Impedanzanpassungsnetzwerkbetrieb und die Unfähigkeit, eine niedrige reflektierte Leistung zu erreichen, umfassen.

Über Manitou Systems Inc.

Manitou Systems Inc. ist ein US amerikanischer Hersteller für HF- and Plasma-Prozesstools, die speziell ür Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst DC-/HF-Umschalter, HF-Blocking- und Tiefpass-Filter in Standard- und kundenspezifischen Ausführungen.