Plasmastromversorgungen

DC-/HF-Umschalter

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DC-/ HF-Umschalter

Matrixx-Switch-Module werden zum Umschalten des Ausgangs von HF-Stromgeneratoren, DC-Sputter-Stromversorgungen oder Impedanzanpassungsnetzwerken verwendet. Verschiedene Modelle sind nur für das Schalten von Gleichstrom ausgelegt während andere Geräte sowohl die HF- als auch die Gleichstromversorgung auf unterschiedliche Ausgänge schalten können. Die Umschaltung erfolgt über eine 24 V Ansteuerung. Dies bietet einen kostengünstigen Ansatz in den meisten F&E-Umgebungen. Standardmodelle sind mit 2, 3 und 4 Ausgängen erhältlich und verwenden branchenübliche HF-Steckverbinder (Typen DIN7/16, N, HN, UHF und BNC). Sonderausführungen mit Steckverbindern und Steckdosen vom Typ Multi-Contact sind auf Anfrage erhältlich.

Grundmodelle ermöglichen das Umschalten eines einzelnen HF- oder DC-Eingangs zwischen mehreren Ausgängen. Reine DC-Modelle verwenden hochwertige Open-Frame-Relais, während HF-/ DC-Modelle Vakuumrelais verwenden. (Bitte beachten Sie, dass einige Low-Power-Anwendungen Open-Frame-Relais verwenden können – wenden Sie sich für weitere Informationen an uns.)

Ein Auswahl unserer Umschalter finden Sie auch in unserem Onlineshop.

Über Manitou Systems Inc.

Manitou Systems Inc. ist ein US amerikanischer Hersteller für HF- and Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst DC-/HF-Umschalter, HF-Blocking- und Tiefpass-Filter in Standard- und kundenspezifischen Ausführungen.

Kombinierte Modelle ermöglichen den Anschluss von HF- und DC-Stromversorgungssystemen an das Schaltmodul und das Umschalten zwischen mehreren Ausgängen. Der DC-Eingang verwendet dabei immer einen HF-Blockierfilter, um zu verhindern, dass durchgeleitete HF den Betrieb des Gleichstromnetzteils stört.

Kompakte Matrixx Mini Umschalter können direkt an einer Magnetronkathode (Sputterquelle) montiert werden, um ein einfaches Umschalten zwischen HF- und DC-Generatoren zu ermöglichen.
Ebenso kann der Mini auch am Ausgang eines Stromgenerators angeschlossen werden, um das Umschalten zwischen zwei Lasten zu ermöglichen.

HF Auto-Matchboxen mit intergriertem Umschalter

Neu in unserem Programm sind HF Auto-Matchboxen der Firma Bdiscom mit integriertem DC-Eingang, die den Betrieb der angeschlossenen Last(en) wahlweise mit DC oder HF ermöglichen. Aufgrund des integrierten Umschalters ist kein weiteres Gerät mit entsprechenden Kabelverbindungen notwendig. Der Aufbau und der Anschluss wird dadurch wesentlich vereinfacht.

Alle Switch-Module können auch direkt an eine SPS oder Computer-I/O eines Benutzers angeschlossen und mit Strom versorgt werden. Ein Stecker des Typs DB-15 ist an der Seitenfläche dee Gehäuse montiert und dient zum Anschließen der Steuerspannungen.

RF Blocking Filter

BeamTec bietet auch HF-Blocking-Filter an, die den Anschluss von HF- und DC-Strom an eine Magnetron Sputter Kathode ermöglichen. Dies ist wünschenswert, um bestimmte abgeschiedene Dünnfilmeigenschaften zu erreichen. Bei der Filtertopologie handelt es sich typischerweise um ein Mehrfachelement “L”, das eine hohe Grundfrequenzdämpfung ermöglicht. Der Ausgang dieses Filters ist parallel zu dem Ausgang eines HF-Impedanzanpassungsnetzwerks mit der Magnetronkathode verbunden. Der Eingang des Filters ist an die DC-Sputter-Stromversorgung angeschlossen. Es ist zu beachten, dass die Gleichstrom-Energie durch den Serienkondensator des Netzwerks daran gehindert wird, in das entsprechende Netzwerk zu gelangen.

Anwendungsspezifische Versionen sind auf Anfrage immer verfügbar. Bitte kontaktieren Sie die Verkaufsabteilung, um Ihre Bewerbung zu besprechen.

 

Low Pass Filter

Eliminator-HF-Tiefpassmodelle werden normalerweise in die 50-Ohm-Koaxialübertragungsleitung am Eingang des Impedanzanpassungsnetzwerks installiert. Sie dämpfen die Oberwellenenergie, ohne die Grundfrequenz zu beeinflussen oder eine signifikante Phasenverschiebung einzuführen.

Oberschwingungen werden in der Plasmaentladung erzeugt und werden normalerweise durch die inhärente Filterung des Anpassungsnetzwerks daran gehindert, zum HF-Generator zurückzukehren. Die Impedanz einiger Plasmen erfordert jedoch Anpassungsschaltungen, die diese Oberwellen möglicherweise nicht vollständig filtern. Die Symptome können einen instabilen oder nicht wiederholbaren (automatischen) Impedanzanpassungsnetzwerkbetrieb und die Unfähigkeit, eine niedrige reflektierte Leistung zu erreichen, umfassen.