Elektronenstrahlverdampfer
UHV-Verdampfer
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BeamTec bietet UHV-Elektronenstrahlverdampfer in verschiedenen Tiegelgrößen und Leistungsklassen an. Gegenüber den Standardvarianten werden hier ausschließlich UHV-kompatible Verbindungs- und Materialtypen verwendet.
Eintiegelverdampfer EB1Nano-UHV
Der kleine 4kW- Verdampfer mit max. 4 cm³ Tiegelvolumen ist neben einem Permanentmagnetsystem für die primäre Ablenkung auch mit einem elektromagnetischen Spulensystem für die zweidimensionale, dynamische Ablenkung des Elektronenstrahls ausgestattet. Auf dem ISO63CF Montageflansch befinden sich alle Mediendurchführungen für Wasser, Magnetstrom, Hochspannung.
Max. Betriebsleistung 4 kW
Hochspannungsbereich 6 – 8 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 2 A
Montage ISO63K oder ISO63CF
Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³
Eintiegelverdampfer EBS6-xx-UHV
Der kleine UHV-Eintiegelverdampfer ist in den Tiegelgrößen 4, 7, und 15 cm³ erhältlich. Mit einer Betriebsleistung bis zu 6 kW ist er ausreichend dimensionert für die meisten Anwendungen.
Max. Betriebsleistung 6 kW
Hochspannungsbereich 5 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A
Montage optional auf Flansch
Typ. Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³ (-04)
1 x 7 cm³ (-07)
1 x 15 cm³ (-15)
Eintiegelverdampfer EBS15-xxx-UHV
Der große UHV-Eintiegelverdampfer kann mit einem Tiegel bis 100 cm³ Tiegelgröße ausgestattet werden. Mit einer Betriebsleistung bis zu 15 kW ist er vor allem für Hochrate-Metallisierungsanwendungen ausgelegt, bzw. für Verdampfungen, die ein großes Tiegelvolumen benötigen.
Max. Betriebsleistung 15 kW
Hochspannungsbereich 5 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A
Montage optional auf Flansch
Typ Tiegelkonfiguration
1 x 25 cm³ (-025)
1 x 40 cm³ (-040)
1 x 100 cm³ (-100)
Mehrtiegelverdampfer EBL6-xxx-UHV
Mit dem UHV-Linear-Mehrtiegelverdampfer EBL6-UHV können unterschiedliche Materialien mittels eines Strahlerzeugers ohne Unterbrechung des Vakuums verdampft werden. Alle Hardware-Komponenten sind dabei auf einem ISO160CF Flansch angeordnet.
Max. Betriebsleistung 6 kW
Hochspannungsbereich 5 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A
Montage ISO160CF / ISO200CF inkl. HV-, Magnet,- Wasser- und Shutter-Durchführung
Typ Tiegelkonfiguration
5 x 4 cm³ (-504) 7 x 4 cm³ (-704)
4 x 7 cm³ (-407) 6 x 7 cm³ (-607)
3 x 15 cm³ (-315) 4 x 15 cm³ (-415)
| EB1Nano-UHV | EBS6-xx-UHV | EBS15-xxx-UHV | EBL6-xxx-UHV | ||
|---|---|---|---|---|---|
| Max. Betriebsleistung | 4 kW | 6 kW | 15 kW | 6 kW | |
| Hochspannungsbereich | 6 - 8 kW | 5 - 10 kV | |||
| Spulenablenkstrom (x/y) | ± 2 A | ± 1 A | |||
| Montage | ISO63K oder ISO63CF | optional auf CF Flansch | optional auf CF Flansch | ISO160CF / ISO200CF inkl. HV-, Magnet,- Wasser- und Shutter-Durchführung | |
| Tiegelantrieb | - | - | - | manuell / (elektrisch optional) | |
| Typ. Tiegelkonfigurationen | 1 x 4 cm³ | 1 x 4 cm³ (-04) 1 x 7 cm³ (-07) 1 x 15 cm³ (-15) | 1 x 25 cm³ (-025) 1 x 40 cm³ (-040) 1 x 100 cm³ (-100) | 5 x 4 cm³ (-504) 4 x 7 cm³ (-407) 3 x 15 cm³ (-315) | 7 x 4 cm³ (-704) 6 x 7 cm³ (-607) 4 x 15 cm³ (-415) |
Aktuelle Datenblätter erhalten Sie auf Anfrage bei info(at)beamtec.de.