Plasmastromversorgungen

40 kHz MF-Generatoren

Startseite » Plasmastromversorgungen » 40 kHz MF-Generatoren

BDS-MF 5/10/15 kW @ 40kHz, Hoch- /Niedrigspannung AC Plasmaversorgung

Der BDS-MF 40 kHz Plasmagenerator wurde für die Plasmaanregung für Sputter-, PECVD- bzw. Plasmareinigungsprozesse entwickelt. Die Modellreihe umfasst 5 kW, 10 kW und 15 kW Leistungsgeräte, die mit einem nachgeschalteten Transformator bis zu 13000 V Ausgangsspannung (RMS) liefern können.

Das luftgekühlte Grundgerät stellt über 3 ansteuerbare Taps die Ausgangsspannungen 400 V, 650 V und 800 V  für Sputterprozesse zur Verfügung.  Für PECVD-Prozesse transformiert ein externer HV-Transformator die Spannung auf bis zu 7000 V RMS. Mit der balancierten Ausgangsbeschaltung können dabei bis zu 4 symmetrische Elektroden versorgt werden.

Daneben erlaubt ein spezieller Transformator auch den Einsatz für atmosphärische Plasmen.

Typische Einsatzgebiete:

  • PECVD Prozesse in größeren Vakuumanlagen
  • Oberflächenaktivierung
  • Sputter- und Glimmprozesse bei Kunststoffen und Reflektoren
  • atmosphärische Plasmaprozesse

 

bdiscom logo

Über BDISCOM Srl

BDISCOM Srl ist ein italienischer Hersteller für Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst Plasmaversorgungen für verschiedene Frequenzbereiche sowie kleinere Plasmaanlagen zur Oberflächenmodifikation.

 

Eigenschaften & Merkmale

  • Weiter Betriebsbereich mit 3 Taps
  • ultraschnelles Arc-Handling
  • Luftgekühlt
  • Analoge + RS232 Schnittstelle / Profibus
  • Bedienerfreundlich mit Frontpanel-Anzeige
  • Hoher Wirkungsgrad >90%
  • Kompakt und leicht, 22 kg, 19″ 4 HE

Modelle & Spezifikationen

 MF generatorMF generatorMF generator

BDS-MF5k-V2

BDS-MF10k-V2

BDS-MF15k-V2

Max. Ausgangsleistung5 kW10 kW15 kW
Max. Ausgangsspannung400 V / 650 V / 800 V400 V / 650 V / 800 V400 V / 650 V / 800 V
Zündspannung1000 V1000 V1000 V
Max. Ausgangsstrom15 A @ Tap 1;
6,5 A @ Tap 3
30 A @ Tap 1;
15 A @ Tap 3
35 A @ Tap 1;
19 A @ Tap 3
BetriebsmodusMF 40 kHz mit PulsoptionMF 40 kHz mit PulsoptionMF 40 kHz mit Pulsoption
Pulszeiten1 - 40 ms1 - 40 ms1 - 40 ms
DisplayAlphanumerisch LCD 2x40Alphanumerisch LCD 2x40Alphanumerisch LCD 2x40
Schnittstellendigital/analog (PE II kompatible Schnittstelle);
RS232;
Profibus optional
digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle);
RS232;
Profibus optional
digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle);
RS232;
Profibus optional
Arc Managementultraschnell über Spannnungsabfallultraschnell über Spannnungsabfallultraschnell über Spannnungsabfall
Versorgungsspannung3 x 400 Vac 50 / 60 Hz3 x 400 Vac 50 / 60 Hz3 x 400 Vac 50 / 60 Hz
Abmessungen19" , 4HE, 540mm, tief19" , 4HE, 540mm, tief19" , 4HE, 540mm, tief