BeamTec presents the innovative MPS RF series: A compact 2-in-1 system that combines a 13.56 MHz RF generator and automatic matchbox in a single 19″ housing. Despite integrating the matchbox into the 19″ housing, a sputter source with a 4m cable length can...
BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m...
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