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QSK Messkopf 12-fach

Die Produktreihe der QMB6-Quarzmessboxen für die Schichtdickenmessung wurde durch die PRO-Serie erweitert. Neben der Übergabe der Frequenzinformation für bis zu zwei Messköpfe, erfolgt die Berechnung der Rate und Schichtdicke nun auch intern im Gerät, anstatt über eine externe Software. Das Modbus-Protokoll für die RS232-, RS485-, USB- oder Ethernet IP/PoE-Schnittstelle erlaubt eine schnelle Einbindung in OEM-Systeme. Alternativ steht auch ein herkömmliches ASCII-Protokoll zur Verfügung. Die komplette QMB6-Reihe kann mit bis zu 2 integrierten Oszillatoren ausgestattet werden, womit externe Oszillatoren entfallen können.

Neue 300W/600W HF Versorgung mit integrierter Matchbox

Neue 300W/600W HF Versorgung mit integrierter Matchbox

BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19"-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19" Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb...