Elektronenstrahlverdampfer
Hochspannungsversorgungen- und -steuerungen
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EBEAM Hochspannungsversorgung
Die EBEAM-Serie ist die aktuelle Hochspannungsversorgung von BeamTec für Elektronenstrahlverdampfer: robuste, kompakte Geräte mit bis zu 8 kW Ausgangsleistung und bis zu 10 kV. Über ein integriertes Touch-Panel lassen sich die Versorgungen direkt am Gerät bedienen und überwachen. Ein ultraschnelles Arc-Management sowie eine Arc-Strombegrenzung mit einer Reaktionszeit unter 1 µs sorgen auch bei kontinuierlichem Arcing für stabilen Betrieb. Die Variante EBEAMx-HV-F bringt ein 600-W-DC-Filamentnetzteil bereits im Gerät mit.
Eigenschaften & Merkmale
- 3 / 6 / 8 kW Ausgangsleistung
- Hochspannung 4 – 10 kV neg.
- Touch-Panel zur lokalen Bedienung & Überwachung
- Ultraschnelles, einstellbares Arc-Management
- Arc-Strombegrenzung, Reaktionszeit < 1 µs
- Niedrige Ausgangs-Restenergie
- Optional integriertes 600-W-Filamentnetzteil (EBEAMx-HV-F)
- Schnittstelle über BeamTrek (DB25), optional EtherCat / ProfiBus
EBEAMx-HV
Ausgangsleistung 3 / 6 / 8 kW
Emissionsstrom 375 mA@8 kV … 800 mA@10 kV
Hochspannungsbereich 4 – 10 kV neg.
HV-Ausgänge 1
Filament extern (Stingray-DC / -DC-R)
Bedienung Touch-Panel; A/D via BeamTrek
Betriebsspannung 3× 400 VAC + 1× 230 VAC (Steuerung)
Abmessung 19", 5 HE, 520 mm tief
Bestell-Nr. BDS-EBEAM3/6/8-HV
EBEAMx-HV-F
Ausgangsleistung 3 / 6 / 8 kW
Emissionsstrom 375 mA@8 kV … 800 mA@10 kV
Hochspannungsbereich 4 – 10 kV neg.
Filament integriert, 600 W DC (60 A @ 10 VDC)
Filament-/Emissionsregelung integriert, PID einstellbar
Filamentkabel bis 5 m zur HV-Durchführung (Standard 2 m)
Abmessung 19", 5 HE, 520 mm tief
Bestell-Nr. BDS-EBEAM3/6/8-HV-F
Technischer Vergleich
| Merkmal | WARP3 | WARP10 | EBEAMx-HV | EBEAMx-HV-F |
|---|---|---|---|---|
| Ausgangsleistung | 3 kW | 10 kW | 3 / 6 /8 kW | 3 / 6 /8 kW |
| Strom | 0–375 / 500 mA | 0–1000 mA | 375 mA@8 kV; 600 mA@10 kV; 800 mA@8 kV | 375 mA@8 kV; 600 mA@10 kV; 800 mA@8 kV |
| Spannung | 4–8 / 4–6 kV neg. | 4–10 kV neg. | 4–10 kV neg. | 4–10 kV neg. |
| HV-Ausgänge | 1 | bis zu 2 | 1 | 1 |
| Filament | extern (Stingray) | extern (Stingray); max. 2 | extern (Stingray) | integriert 600 W (60 A @ 10 VDC) |
| Arc-Management | einstellbar (Schnittstelle) | einstellbar (Schnittstelle) | einstellbar (Schnittstelle + Frontpanel) | einstellbar (Schnittstelle + Frontpanel) |
| Schnittstelle | A/D 2× DB9; USB/RS232 | A/D 2× DB9; USB/RS232 | Touch-Panel; DB25 (BeamTrek); RS232; opt. EtherCat/ProfiBus | Touch-Panel; DB25 (BeamTrek); RS232; opt. EtherCat/ProfiBus |
| Netzanschluss | 1× 230 VAC ±10 % | 3× 400 VAC | 3× 400 VAC + 1× 230 VAC (Steuerung) | 3× 400 VAC + 1× 230 VAC (Steuerung) |
| Abmessung | 19″, 2 HE, 405 mm | 19″, 4 HE, 500 mm | 19″, 5 HE, 520 mm | 19″, 5 HE, 520 mm |
WARP™ Hochspannungsversorgung (Ergänzung: 3 kW & 10 kW)
Die EBEAM-Serie wird durch die primär-getaktete WARP-Reihe in der 3 kW- und 10 kW-Klasse ergänzt. Der WARP10 kann dabei zwei Verdampfer mit einer Gesamtleistung von 10 kW aus einem einzigen 4-HE-Gerät ansteuern.
Eigenschaften & Merkmale
- 3 kW (WARP3) bzw. 10 kW (WARP10)
- Primär-getaktetes Leistungsteil
- Ultraschnelles Arc-Management
- Niedrige Ausgangs-Restenergie
- WARP3: einphasig (1× 230 VAC)
- WARP10: bis zu 2 HV-Ausgänge mit Emissionsmessung
WARP 3
Max. Ausgangsleistung 3 kW
Max. Emissionsstrom 375 / 500 mA
Hochspannungsbereich 4 – 8 / 4 – 6 kV neg.
Verdampfer 1
Betriebsspannung 1× 230 VAC, 50/60 Hz
Abmessung 19", 2 HE, 405 mm tief
Bestell-Nr. BT-WARP3
WARP 10
Max. Ausgangsleistung 10 kW
Max. Emissionsstrom 1000 mA
Hochspannungsbereich 4 – 10 kV neg.
Verdampfer 1 / 2 mit Emissionsmessung
Betriebsspannung 3× 400 VAC, 50/60 Hz
Abmessung 19", 4 HE, 500 mm tief
Bestell-Nr. BT-WARP10
BeamTrek™ Verdampfersteuerung
Die BeamTrek Verdampfersteuerung ermöglicht die Bedienung von Strahlablenkung, Emissionssteuerung und Tiegelauswahl über eine berührungsempfindliche Fernbedienung. Herzstück ist die Ablenkungssteuerung für den Elektronenstrahl mit vielfältigen Einstellungsmöglichkeiten. BeamTrek ist mit den EBEAM- und WARP-Versorgungen sowie gängigen Fremdgeräten kompatibel.
Stingray – Filamentstromversorgungen
Für die HV-Variante EBEAMx-HV (ohne integriertes Filament) sowie für WARP liefert BeamTec die DC-Filamentstromversorgungen der Stingray-Serie in primär-getakteter Schaltungstechnologie.
Stingray-DC
Wird direkt an eine Hochspannungs-Durchführung gekoppelt und benötigt keinen zusätzlichen Einbauplatz oder separate Filamentleitungen.
- Max. 50 A Filamentstrom; 10 V DC
- Für alle gängigen Elektronenstrahlverdampfer
- Kompatibel mit BeamTrek, EBEAMx-HV, WARP
Stingray-DC-R
Rackmontierte Ausführung in kompaktem Gehäuse; bis zu 2 Geräte an einer 19"/3-HE-Blende.
- Max. 50 A Filamentstrom; 10 V DC
- Für alle gängigen Elektronenstrahlverdampfer
- Kompatibel mit BeamTrek, EBEAMx-HV, WARP
