Plasmastromversorgungen

HF Generatoren

BDS-HF 200/300/750 AFP-Serie

Mit der AFP-Serie stellt BeamTec HF-Generatoren mit aktiver Frontpanel-Bedienung bis zu einer Leistungsklasse bis 750 W vor. Als Leistungsstufe kommt ein Class E Schaltkreis mit 85-90% Wirkungsgrad zum Einsatz. Neben einer analog/digital-Schnittstelle steht optional auch eine Ansteuerung über Profibus zur Verfügung.

BDS-AMN 750 Anpassnetzwerk

Die automatische Matchbox BDS-AMN750 passt die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an. Zwei motorisierte Leistungskondensatoren dienen zur schnellen Leistungsanpassung in einer L-Konfiguration oder für mittlere Impedanz mittels einer TEE- Konfiguration. Eine integrierte DC-BIAS Messung erlaubt die Regelung auf eine konstante Vorspannung über die BDS-AFP-Generatorserie.

EDF PPSxxxRC HF Generator mit integrierter Matchbox

BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.

Hauptmerkmale

• Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät​
• 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt​
• Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
• Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
• Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
• optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
• Montage und CE-Prüfung in Europa