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Produktneuheiten und Firmennews

Neue 300W/600W HF Versorgung mit integrierter Matchbox

BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m...

Neue gepulste DC-Stromversorgung mit Polaritätsumkehr

Kaufman & Robinson Inc. stellt eine neue gepulste Plasmastromversorgung vor, eine innovative 3000-Watt-Einheit mit einem Ausgang, die speziell für Pulsed-DC- und Standard-DC-Magnetron-Sputtern in reaktiven und nicht-reaktiven Prozessen entwickelt wurde. Dieses...

QMB6-Pro Quarzmonitorbox mit integrierter Rateberechnung

Die Produktreihe der QMB6-Quarzmessboxen für die Schichtdickenmessung wurde durch die PRO-Serie erweitert. Neben der Übergabe der Frequenzinformation für bis zu zwei Messköpfe, erfolgt die Berechnung der Rate und Schichtdicke nun auch intern im Gerät, anstatt über...

COLT Quarz-Messkopf

Der COLT Quarz-Messkopf ist ein Dünnschicht-Sensor, der mit einem rotierenden Quarzmagazin für die Aufnahme von 12 Standard-Quarzen (14mm) bzw. 24 Kompakt-Quarzen (8,6mm) ausgestattet ist. Über den integrierten Schrittmotor kann jede Quarzposition von allen typischen...

Update für die 1500W DC Plasma-Stromversorgung

Unsere Dual-Source-Stromversorgung MPS1500P hat ein Upgrade bekommen.Für den PulseDC Modus sind jetzt bis zu 300 kHz möglich. Weitere Merkmale des Netzteils: DC und PulseDC Betriebsmodus in einem Gerät 2 HV Outputs für den Betrieb von 2 Magnetrons Strom-, Spannung-...