Ionenquellen
Mark II Retrofit
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→Informationen zum MARK III HO Retrofit
BeamTec präsentiert ein modernes Nachrüstpaket für Veecos Stromversorgungsgerät für MARK II und MARK III HO end-Hall Ionenquellen. Das Paket umfasst das neue modulare Stromversorgungssystem von Kaufman & Robinson, einschließlich Filament-, Discharge- und Gasregler mit integriertem Prozesssequenzer und einer integrierten MARK II-kompatiblen Schnittstelle. Versionen mit Hohlkathoden werden auch unterstützt, indem Bias- und Keeper-Controller anstelle eines Filament-Controllers verwendet werden.
Alle Controller verfügen über erweiterte primär geschaltete Leistungsmodule mit schnellem Arc-Handling für stabilen Betrieb über den gesamten Betriebsbereich. Die Controller können sowohl die traditionelle MARK II-Ionenquelle als auch die nächste Generation der eH-Serie von KRI-Produkten betreiben.
Vier Betriebsmodi, darunter der Konstantstrom- und Konstantspannungsmodus mit entweder konstantem Gasfluss oder Gasfeedback, ermöglichen maximale Vielseitigkeit und schnelle Reaktionszeiten bei sich ändernden Plasmalasten. Stabile Prozessbedingungen werden innerhalb von 5 – 10 s nach dem RUN-Befehl erreicht.
Eigenschaften
- MARK II Netzteil-kompatible Schnittstelle
- Modulare Architektur
- Schnittstellenintegration
- Lernmodus für eine beschleunigte Startsequenz
- Sofortige Arc-Erholung
- Wiederholbare und stabile Steuerung der Ionenstrahlparameter über den gesamten Betriebsbereich
- Zusätzliche RS232-Schnittstellen
- Mikrocontroller-basierte Logik
- CE-Konformität
Eigenschaften & Merkmale
- Plug & Play-Installation mit Fernbedienungskompatibilität
- Optimieren Sie das Upgrade für Prozessanwendungen und -kosten
- Alle Leistungsmodule werden vollständig über A/D- und/oder RS232-Schnittstelle gesteuert
- Schnelle Kontrolle der Betriebsparameter bei Inbetriebnahme und Lastwechsel
- Sofortiger Arc- und Kurschluss-Erholung ohne Plasmaoszillation
- Erhöht die Parameter der Ionenquelle, um die Prozessergebnisse zu optimieren
- Umfassende Steuerung über moderne SPS
- Hohe Flexibilität für kundenspezifische Funktionen und zukünftige Upgrades vor Ort
- Erfüllt EMI- und Sicherheitsstandards
Spezifikationen
Auto Controller | ||
| Gasfluss | 1 - 20/50/100/100 sccm (4 Kanäle); 24V I/O für Zwangsabschaltung | |
| Schnittstellen | - 25 pin MARK II kompatible, optoisolierte Schnittstelle - 37 pin A/D Schnittstelle für erweiterte Kontrollfinkionen - RS485 Schnittstelle zu den KRi Modulen - 4x 15 pin MFC Kanal (Brooks 5850E kompatibel) - RS232/RS485 (für Hostcontrol und Datenlog) - System Interlock | |
| Maße | 19", 1U, 4kg | |
Filament Controller | ||
| max. Leistung | 900 W | |
| Max. Output | primär geschaltete 36 VAC Niederfrequenz; 25 A | |
| Schnittstellen | - 25 pin A/D - RS232/RS485 | |
| Maße | 19", 1U, 5kg | |
Discharge Controller | ||
| Max. Leistung | 1 kW (DC3005) | 2 kW (DC30010) |
| Max. Output | 5 A / 300 V | 10 A / 300 V |
| Schnittstellen | - 25 pin A/D - RS232/RS485 | - 25 pin A/D - RS232/RS485 |
| Maße | 19", 1U, 7 kg | 19", 1U, 7 kg |