
Die Produktreihe der QMB6-Quarzmessboxen für die Schichtdickenmessung wird nun durch die PRO-Serie erweitert. Neben der Übergabe der Frequenzinformation für bis zu zwei Messköpfe, erfolgt nun auch die Berechnung der Rate und Schichtdicke intern im Gerät, anstatt über eine externe Software. Das Modbus-Protokoll für die RS232-, RS485-, USB- oder Ethernet IP/PoE-Schnittstelle erlaubt eine schnelle Einbindung in OEM-Systeme. Die komplette QMB6-Reihe kann mit bis zu 2 integrierten Oszillatoren ausgestattet werden, womit externe Oszillatoren entfallen können.

Neue gepulste 1500W DC Plasma-Stromversorgung
Mit dem Netzteil MPS1500P präsentiert BeamTec eine Neuentwicklung einer gepulsten DC-Plasmastromversorgung von unserem Partner EDF Electronics. Die Bedienung erfolgt über eine grafische Anzeige oder typische Industrieschnittstellen. Bis zu 2 Ausgänge können...

Lineare Ionenquellen und RF Plasmaquellen
BeamTec erweitert das Produktprogramm um lineare Ionenquellen und RF Plasmaquellen von „Beams & Plasmas“. Hier geht es zur Produktseite: Anode Layer Ionenquellen