BeamTec presents the innovative MPS RF series: A compact 2-in-1 system that combines a 13.56 MHz RF generator and automatic matchbox in a single 19″ housing. Despite integrating the matchbox into the 19″ housing, a sputter source with a 4m cable length can be matched within 2 seconds.
Key Features
- Matchbox and generator in single 19″, 3 U unit
- 300 W or 600 W generator, 13.56 MHz; air-cooled
- Pulsing feature up to 30 kHz with fully adjustable duty cycle for flexible applications
- Fully digital, precise tuning in <2 s, AGC for stable output power
- Precise measurement for output power, reflected power and load impedance
- Control: Local, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (web browser)
- Optional: Separate RF supply (2 U) and matchbox
- Assembly and CE testing in Europe
Neue Firmenadresse
Ab dem 1.Juni 2016 wird die BeamTec GmbH den Betrieb im neuen Firmengebäude im Science Park III in Ulm fortsetzen. Damit geht eine 8-monatige Bauzeit zu Ende und wir freuen uns, die neuen Räumlichkeiten mit vergrößertem Technik- und Warenlagerbereich zu beziehen. Alle...
Rohbau Fertigstellung
Rohbau-Fertigstellung des neuen Betriebsgebäudes im Science Park III / Ulm Wie geplant konnte der Rohbau des neuen Betriebsgebäudes noch vor Weihnachten fertiggestellt und winterfest gemacht werden. Damit können im neuen Jahr sofort die Trockenbauarbeiten beginnen....