BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.
Hauptmerkmale
- Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät
- 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt
- Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
- Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
- Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
- optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
- Montage und CE-Prüfung in Europa
Neuer Onlineshop
Unser neuer Onlineshop für Verbrauchmaterialien und Ersatzteilen zu den Komponenten aus unserem Produktprogramm sowie weiteren Artikeln im Bereich der Vakuum- und Beschichtungstechnik ist live geschaltet. Daneben finden sich auch spezielle Angebote und Gebrauchtwaren...
Neue Firmenadresse
Ab dem 1.Juni 2016 wird die BeamTec GmbH den Betrieb im neuen Firmengebäude im Science Park III in Ulm fortsetzen. Damit geht eine 8-monatige Bauzeit zu Ende und wir freuen uns, die neuen Räumlichkeiten mit vergrößertem Technik- und Warenlagerbereich zu beziehen. Alle...