BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.
Hauptmerkmale
- Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät
- 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt
- Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
- Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
- Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
- optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
- Montage und CE-Prüfung in Europa
Neue gepulste 1500W DC Plasma-Stromversorgung
Mit dem Netzteil MPS1500P präsentiert BeamTec eine Neuentwicklung einer gepulsten DC-Plasmastromversorgung von unserem Partner EDF Electronics. Die Bedienung erfolgt über eine grafische Anzeige oder typische Industrieschnittstellen. Bis zu 2 Ausgänge können...
Lineare Ionenquellen und RF Plasmaquellen
BeamTec erweitert das Produktprogramm um lineare Ionenquellen und RF Plasmaquellen von „Beams & Plasmas“. Hier geht es zur Produktseite: Anode Layer Ionenquellen