BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.
Hauptmerkmale
- Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät
- 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt
- Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
- Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
- Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
- optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
- Montage und CE-Prüfung in Europa
Update für die 1500W DC Plasma-Stromversorgung
Unsere Dual-Source-Stromversorgung MPS1500P hat ein Upgrade bekommen.Für den PulseDC Modus sind jetzt bis zu 300 kHz möglich. Weitere Merkmale des Netzteils: DC und PulseDC Betriebsmodus in einem Gerät 2 HV Outputs für den Betrieb von 2 Magnetrons Strom-, Spannung-...
Schichtdickenmonitor TFM260
BeamTec stellt den neuen Schichtdickenmonitor TFM260 für die Quarzmesstechnik vor. Es ist eine Weiterentwicklung des bisherigen Industriestandardgeräts und bietet nun eine komfortable Bedienung über ein Touchscreen-Display. Das 1/2 19" Gerät unterstützt die...