BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.
Hauptmerkmale
- Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät
- 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt
- Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
- Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
- Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
- optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
- Montage und CE-Prüfung in Europa
QMB6-Pro Quarzmonitorbox mit integrierter Rateberechnung
Die Produktreihe der QMB6-Quarzmessboxen für die Schichtdickenmessung wurde durch die PRO-Serie erweitert. Neben der Übergabe der Frequenzinformation für bis zu zwei Messköpfe, erfolgt die Berechnung der Rate und Schichtdicke nun auch intern im Gerät, anstatt über...
20-Jahre BeamTec GmbH: Eine Erfolgsgeschichte von Innovation und Teamgeist
Heute feiern wir ein ganz besonderes Ereignis in der Geschichte unseres Unternehmens – unser 20-jähriges Firmenjubiläum! Zwei Jahrzehnte voller Innovation, harter Arbeit und unermüdlichem Engagement liegen hinter uns. Die kommenden Jahre werden ebenso spannend. Dabei...