BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19″-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19″ Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb 2 Sekunden gematcht werden.
Hauptmerkmale
- Matchbox und Generator in einem 19″ , 3 HE Gerät
- 300 W oder 600 W Generator, 13,56 MHz; luftgekühlt
- Pulsbar bis 30 kHz und voll einstellbarer Duty Cycle für flexible Anwendungen
- Vollständig digital, präzise Abstimmung in <2 s, AGC für stabile Ausgangsleistung
- Steuerung: Lokal, IO, RS485 (Modbus), RJ45 (Webbrowser)
- optional: getrennte HF-Versorgung (2 HE) und Matchbox
- Montage und CE-Prüfung in Europa
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Neue gepulste DC-Stromversorgung mit Polaritätsumkehr
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