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QSK Messkopf 12-fach

Der COLT Quarz-Messkopf ist ein Dünnschicht-Sensor, der mit einem rotierenden Quarzmagazin für die Aufnahme von 12 Standard-Quarzen (14mm) bzw. 24 Kompakt-Quarzen (8,6mm) ausgestattet ist. Über den integrierten Schrittmotor kann jede Quarzposition von allen typischen Steuerungsgeräten exakt und schnell angefahren werden. Der Messkopf kann beliebig in einer Vakuumkammer eingebaut werden und benötigt für die Ansteuerung lediglich einen KF16-Anschlussflansch für alle zuführenden Medien. Mit nur 102 mm Außendurchmesser und 72 mm Höhe baut der Messkopf äußerst kompakt.

Der Messkopf COLT10-PRO verfügt zudem über eine direkt-wassergekühlte Kontaktplatte für das 10-fach Quarzmagazin. Während bei herkömmlichen Mehrfach-Messköpfen lediglich das Gehäuse wassergekühlt ist, sorgt beim COLT10-PRO die aktive Kühlung des rotierenden Quarzhalters zusammen mit der Kühlung des Gehäuses für reproduzierbare Messergebnisse und lange Standzeiten. Mit nur 88 mm Außendurchmesser eignet sich dieser Messkopf auch zum Einbau in zentrale 90 mm-Hohlwellen-Antriebssysteme.

Optional kann bei allen COLT-Modellen eine Blende für den aktiven Quarz angebaut werden, um die Beschichtung des Quarzes zu unterbrechen und z.B. die Prozesszeiten mittels Sample&Hold-Technologie zu verlängern. Auch hier erfolgt die pneumatische Ansteuerung über den seitlichen oder rückseitigen KF16-Anschlussflansch.

Hochrate Magnetron Verdampfer

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Schichtdickenmonitor TFM260

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