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With the MPS1500P power supply, BeamTec presents a new development of a pulsed DC plasma power supply from our partner EDF Electronics. Operation is via a graphical display or typical industrial interfaces. Up to 2 outputs can be controlled alternately via an integrated changeover switch.

Neue 300W/600W HF Versorgung mit integrierter Matchbox

Neue 300W/600W HF Versorgung mit integrierter Matchbox

BeamTec präsentiert die innovative MPS RF-Serie: Ein kompaktes 2-in-1-System, das einen 13,56 MHz HF-Generator und automatische Matchbox in einem 19"-Gehäuse vereint. Trotz Integration der Matchbox in dem 19" Gehäuse kann eine Sputterquelle mit 4m Kabellänge innerhalb...