SmartBeam Elektronenstrahlverdampfer |
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BeamTec stellt die komplett neue Generation von SmartBeam Elektronenstrahlverdampfern vor. Diese Verdampfer werden zur Herstellung von hochreinen, dünnen Schichten unter Hochvakuumbedingungen eingesetzt. Ayufgrund des modularen Aufbaus lassen sich verschiedenste Verdampfertypen und -größen im Baukastenprinzip zusammensetzen. Ein eigenständiges Strahlerzeuger- und Ablenkungssystem wird dabei an ein Eintiegel- oder Mehrtiegelmodul mit verschiedenen Tiegelkonfigurationen gekoppelt. Die Ansteuerung der Elektronenstrahlverdampfer ist kompatibel mit herkömmlichen Stromversorgungen, womit auch ein einfacher Austausch von Verdampfern alter Generation ermöglicht wird. |
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Mehrtiegelverdampfer
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| EB M-Serie | EB S-Serie | |
| Mermale | Vorteile | |
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| Unterstützung hoher Sweepfrequenzen |
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| exzellente Kontrolle des Strahls für opt. Materialien |
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| zuverlässige Tiegelpositionierung mit Blockierschutz |
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| einfacher Filamentwechsel und lange Filamentlebensdauer | |
Technische Daten |
| EBM-4 | EBM-6 |
EBM-8 |
EBM-10 |
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| Max. Betriebsleistung: |
4 kW | 6 kW |
8 kW |
10 kW |
| Hochspannungsbereich: |
4-10 kV |
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| Spulenablenkstrom (x/y): | +/- 3A |
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| Strahldurchmessser: |
3 mm, mit minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche |
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| Tiegelantrieb: |
DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung |
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| Typ. Tiegelkonfigurationen: |
4 x 4 cm³ | 4 x 8 cm³ 6 x 6 cm³ 8 x 4 cm³ |
4 x 40 cm³ 6 x 20 cm³ 8 x 15 cm³ |
4 x 60 cm³, 6 x 40 cm³ 8 x 20 cm³ |
| Abmessungen; Vakuum (H x B x L in mm) : |
102 x 92 x 184 | 109 x 112 x 235 |
109 x 150 x 289 |
109 x 190 x 329 |
