Die BeamTec GmbH ist ein Unternehmen, das sich auf Elektronen- und Ionenstrahl-Anwendungen in der Vakuumtechnik spezialisiert hat. BeamTec repräsentiert verschiedenste Hersteller, die sich durch hohes Innovationspotential und zuverlässige Komponenten auszeichnen. Unsere Kunden profitieren dabei von der umfangreichen Marktkenntnis und der Kompetenz im Aufbau zum europäischen Marktführer.

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Ionenquellen

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BeamTec GmbH - Ion Beam Sources

Gitterlose End Hall Ionenquellen

Die BeamTec GmbH vertreibt die komplette Modellpalette gitterloser End-Hall Ionenquellen von Kaufman & Robinson, Inc.
Typische Einsatzgebiete sind:

  • Metallisierungsanlagen
  • Bedampfungsanlagen für dielektrische Schichten
  • Systeme zur Ionenstrahlätzung
  • Systeme für diamantähnliche Schichten
  • Elektronenstrahl-Verdampfungssyteme

EH1000 Ion Source

© KRI 2005

End Hall Ionenstrahl-Technologie

EH Technology -click to enlarge Eigenschaften & Merkmale
  • gitterlos
    • reproduziebar, stabiler Strahl
  • hoher Ionenstrahlstrom
    • bis 6,0 A
  • niedrige Ionenenergie<
    • 40-210eV
  • divergenter Strahl
    • 60° Strahlwinkel
  • breite Abdeckung
    • Cosinus-Verteilung
  • vollständige Ladungsträgerneutralisation
    • automatisch

Produktüberblick

 
EH2000
EH3000
Quellenleistung
max. 200W
max. 400 W
max. 850 W
max. 1700 W
max. 3000 W
Anodenstrom
2 A
3,5 A
8 A
10 A
20 A
Ionenstrom @ Anodenstrom
500 mA @ 2A
875 mA @ 3,5A
2000 mA @ 8A
2500 mA @ 10A
6000 mA @ 10A
Anodenspannung
300 V max
300 V max
300 V max
300 V max
250 V max
mittl. Strahlenergie
35-210 eV
35-210 eV
35-210 eV
35-210 eV
35-200 eV mean
Gasfluss
1-20 sccm
1-50 sccm
1-100 sccm
1-100 sccm
1-150 sccm
Druck
< 1 x 10-3 mbar
< 1 x 10-3 mbar
< 1 x 10-3 mbar
< 1 x 10-3 mbar
< 1 x 10-3 mbar
Strahlwinkel
60°

Die neue Broschüre "Gridless Ion Beam Sources" ist nun verfügbar. Sie können ein elektronisches Exemplar auf Anfrage unter info@beamtec.de erhalten.

Ion Beam Sources Brochure

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