Die BeamTec GmbH ist ein Unternehmen, das sich auf Elektronen- und Ionenstrahl-Anwendungen in der Vakuumtechnik spezialisiert hat. BeamTec repräsentiert verschiedenste Hersteller, die sich durch hohes Innovationspotential und zuverlässige Komponenten auszeichnen. Unsere Kunden profitieren dabei von der umfangreichen Marktkenntnis und der Kompetenz im Aufbau zum europäischen Marktführer.

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Elektronenstrahlverdampfer

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BeamTec GmbH - Elektronenstrahlverdampfer

SmartBeam Elektronenstrahlverdampfer

BeamTec stellt die komplett neue Generation von SmartBeam Elektronenstrahlverdampfern vor. Diese Verdampfer werden zur Herstellung von hochreinen, dünnen Schichten unter Hochvakuumbedingungen eingesetzt. Ayufgrund des modularen Aufbaus lassen sich verschiedenste Verdampfertypen und -größen im Baukastenprinzip zusammensetzen. Ein eigenständiges Strahlerzeuger- und Ablenkungssystem wird dabei an ein Eintiegel- oder Mehrtiegelmodul mit verschiedenen Tiegelkonfigurationen gekoppelt. Die Ansteuerung der Elektronenstrahlverdampfer ist kompatibel mit herkömmlichen Stromversorgungen, womit auch ein einfacher Austausch von Verdampfern alter Generation ermöglicht wird.

 

Mehrtiegelverdampfer
Die neue SmartBeam Verdampferserie ist sowohl für optische Beschichtungsprozesse also auch für die Hochrate-Metallisierung geeignet. Ein effizientes Kühlsystem für den Tiegel und die Ablenkeinheit garantiert den zuverlässigen Betrieb bei anspruchsvollen Produktionsprozessen.

 
EB M-Serie   EB S-Serie
Mermale Vorteile
  • Magnetsystem mit geringer Induktivität und aktiver Kühlung
Unterstützung hoher Sweepfrequenzen
  • kleiner Strahldurchmesser unabhängig von Position im Tiegel
exzellente Kontrolle des Strahls für opt. Materialien
  • atmosphärenseitiger DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung
 zuverlässige Tiegelpositionierung mit Blockierschutz
einfacher Filamentwechsel und lange Filamentlebensdauer

Technische Daten

  EBM-4
EBM-6
EBM-8
EBM-10
Max. Betriebsleistung:
4 kW
6 kW
8 kW
10 kW
Hochspannungsbereich:
4-10 kV
Spulenablenkstrom (x/y):
+/- 3A
Strahldurchmessser:
3 mm, mit minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche
Tiegelantrieb:
DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung
Typ. Tiegelkonfigurationen:
 4 x 4 cm³
4 x 8 cm³
6 x 6 cm³
8 x 4 cm³
4 x 40 cm³
6 x 20 cm³
8 x 15 cm³
4 x 60 cm³,
6 x 40 cm³
8 x 20 cm³
Abmessungen; Vakuum (H x B x L in mm) :
 102 x 92 x 184
109 x 112 x 235
109 x 150 x 289
109 x 190 x 329

Die neue Broschüre "Modular Muli Hearth Electron Beam Evaporators " ist nun verfügbar. Sie können ein elektronisches Exemplar auf Anfrage unter info@beamtec.de erhalten.

Electron Beam Sources Brochure

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