Die BeamTec GmbH ist ein Unternehmen, das sich auf Elektronen- und Ionenstrahl-Anwendungen in der Vakuumtechnik spezialisiert hat. BeamTec repräsentiert verschiedenste Hersteller, die sich durch hohes Innovationspotential und zuverlässige Komponenten auszeichnen. Unsere Kunden profitieren dabei von der umfangreichen Marktkenntnis und der Kompetenz im Aufbau zum europäischen Marktführer.

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Elektronenstrahlverdampfer

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BeamTec GmbH - Elektronenstrahlverdampfer

UHV Elektronenstrahlverdampfer

BeamTec bietet UHV-Elektronenstrahlverdampfer in verschiedenen Tiegelgrößen und Leistungsklassen an. Gegenüber den Standardvarianten werden hier ausschließlich UHV-kompatible Verbindungs- und Materialtypen verwendet.

 

Eintiegelverdampfer EBS6-UHV
Der kleine UHV-Eintiegelverdampfer ist in den Tiegelgößen 4, 7, und 15 cm³ erhältlich. Mit einer Betriebsleistung bis zu 6 kW ist er ausreichend dimensionert für die meisten Anwendungen .

Eintiegelverdampfer EBS15-UHV
Der große UHV-Eintiegelverdampfer kann mit einem Tiegel bis 100 cm³ Tiegelgöße ausgestattet werden. Mit einer Betriebsleistung bis zu 15 kW ist er vor allem für Hochrate-Metallisierungsanwendungen ausgelegt, bzw. für Verdampfungen, die ein großes Tiegelvolumen benötigen.

Mehrtiegelverdampfer EBL6-UHV
Mit dem UHV-Linear-Mehrtiegelverdampfer EBL6-UHV können unterschiedliche Materialien mittels eines Strahlerzeugers ohne Unterbrechung des Vakuums verdampft werden. Alle Hardware Komponenten sind dabei auf einem ISO160CF Flansch angeordnet.

   
  EBS6-xx-UHV EBS15-xxx-UHV
EBL6-xxx-UHV
Max. Betriebsleistung:
6 kW 15 kW
6 kW
Hochspannungsbereich:
5-10 kV
Spulenablenkstrom (x/y):
+/- 1A
Montage:
optional auf CF Flansch
optional auf CF Flansch

ISO160CF inkl. HV-, Magnet,- Wasser- und Shutter-Durchführung

Tiegelantrieb:
-
-
manuell / (elektrisch optional)
Typ. Tiegelkonfigurationen:
1 x 4 cm³ (-04)
1 x 7 cm³ (-07)
1 x 15 cm³ (-15)
1 x 25 cm³ (-025)
1 x 40 cm³ (-040)
1 x 100 cm³ (-100)
6 x 4 cm³ (-604)
4 x 7 cm³ (-407)
4 x 15 cm³ (-415)

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